La technologie PLD utilise un laser pour produire un plasma du matériau à déposer.

L’Imec, centre belge de recherche en nanoélectronique, a commandé un équipement PLD (Pulsed Laser Deposition) au néerlandais Solmates. Le système en question sera livré à l’Imec au cours de ce deuxième trimestre.

La technologie PLD fait appel à un laser pour produire un plasma du matériau à déposer. Déjà en service auprès de plusieurs entreprises, cette technologie sert actuellement à la fabrication de Mems, de LED et de circuits intégrés de puissance.

Avec cette commande, Solmates participe du programme « Beyond CMOS » de l’Imec, qui traite de composants piézoélectriques et de matériaux 2D comme le graphène.

Le catalogue Solmates inclut une plateforme PLD dédiée à la R&D, la SMP700, et deux plateformes PLD destinées à la production, les SIP800 et SIP1200. Solmates est une émanation de l’Institut de nanotechnologie Mesa+.