Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique

Selon ce traité réalisé sous la direction de Mireille Mouis, la maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l'optoélectronique. Un souci qui se pose tant au niveau des composants actifs, comme les transistors ou les lasers, que des interconnexions. Des contraintes indésirables, voire destructives, peuvent être induites par les procédés de réalisation des composants et des circuits intégrés qui font appel à des matériaux variés. L'ouvrage, qui s'adresse à des ingénieurs, chercheurs et concepteurs, fournit les bases permettant d'appréhender ce problème complexe. Il présente les outils théoriques qui sont utilisés pour décrire la génération et la relaxation des contraintes, notamment dans le silicium. Ce livre aborde ensuite les aspects technologiques, des techniques de caractérisation, des méthodes de simulation et l'impact des contraintes sur les propriétés électriques et optiques des composants.