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Terme Définition
Lithographie

Etape dans la fabrication d’un semiconducteur au cours de laquelle est effectué le transfert d’images sur la tranche de silicium grâce à un “ photo resist ” déposé à sa surface. Aujourd’hui, la lithographie optique réalise, en général, ce transfert par photorépétition : un faisceau de lumière balaie une plaque de verre chromée sur laquelle sont inscrits les motifs du circuit intégré, les images de ces motifs sont projetées en taille réduite sur la tranche de silicium de façon répétitive, puce après puce. Cette méthode à source optique pourrait bientôt atteindre ses limites de résolution et de précision pour des motifs inférieurs à 0,10 µm. Candidates à son remplacement, les sources optiques aux UV extrêmes, la projection par faisceau d’ions ou faisceau d’électrons, ou encore les rayons X.

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