Altatech Livre Un Deuxième Système Cvd Au Leti

Revue ElectroniqueS > ElectroniqueS n°29 - Actualité

Altatech Livre Un Deuxième Système Cvd Au Leti

Rédigé par Didier Girault dimanche, 01 juillet 2012 15:00

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L'AltaCVD est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur qui permet notamment à ce laboratoire, l'étude de mémoires à changement de phase ainsi que des travaux sur les oxydes de grille à haute permittivité diélectrique.

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