L’AltaCVD est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur qui permet notamment à ce laboratoire, l’étude de mémoires à changement de phase ainsi que des travaux sur les oxydes de grille à haute permittivité diélectrique. L a miniaturisation des circuits intégrés se heurte à des phénomènes parasites qui prennent de l’importance avec la réduction…