L’Imec et le Holst Centre présentent un capteur miniature capable de détecter à la fois le pH et le taux de chlore (Cl-) d’un liquide.

L’Imec et le Holst Centre ont présenté lors de la conférence IEDM, qui vient de s’achever à San Francisco, un capteur miniature capable de détecter à la fois le pH et le taux de chlore (Cl-) d’un liquide. Son originalité réside dans l’utilisation d’un canal microfluidique pour la jonction de l’électrode de référence.

Les mesures de pH et de chlore se font respectivement par l’intermédiaire d’électrodes en oxide d’iridium (IrOx) et en chlorure d’argent (AgCl) fabriquées à partir d’un substrat silicium.

Le capteur présente des performances (sensibilité, précision, temps de réponse) équivalentes ou meilleures que celles de détecteurs à membrane sélective classiques, tout en étant plus compact, potentiellement moins coûteux à produire, et plus stable sur le long terme. Ce type de capteurs vise la surveillance de l’environnement, l’agriculture ou encore la médecine.