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Un équipement de métrologie par rayons X pour fonctionnement en ligne

Rédigé par  lundi, 10 février 2014 17:34
Un équipement de métrologie par rayons X pour fonctionnement en ligne

Le XM8000 de Nordson Dage est caractérisé par une haute cadence de fonctionnement et une grande précision.

Nordson Dage a présenté lors de Semi European 3D TSV (Grenoble, du 20 au 22 janvier 2014), un équipement de métrologie par rayons X très automatisé, caractérisé par une grande vitesse d’exécution et une grande précision, le XM8000.

Ce système est notamment prévu pour la recherche de défauts et le contrôle des caractéristiques des TSV (Through Silicon Via) qui sont des interconnexions verticales métallisées, des encapsulations 2,5 D et 3D (empilage de puces), des Mems et des bossages des wafers.

Cet appareil intéresse en particulier l’encapsulation des circuits intégrés.
 

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