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Un système d’inspection des substrats de LED et de semi-conducteurs à résolution 100nm

Rédigé par  vendredi, 05 décembre 2014 09:19
Un système d’inspection des substrats de LED et de semi-conducteurs à résolution 100nm TSMC

L’Orion Ligthspeed d’Altatech peut inspecter 85 tranches de 200mm ou 80 tranches de 300mm par heure.

Altatech, filiale de Soitec, annonce l’Orion Lightspeed, un système d’inspection de défauts des substrats de LED et de semi-conducteurs.

Ce système utilise une technologie dite Doppler detection, brevetée par Altatech, qui assure une mesure directe des défauts (position et taille) avec une résolution inférieure à 100nm.

L’Orion Lightspeed peut inspecter 85 tranches de 200mm ou 80 tranches de 300mm par heure.

Plusieurs systèmes sont actuellement en test chez des clients. L’Orion devait être disponible à la vente en avril 2015.
 

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