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Terme Définition
Masque à décalage de phase

Dans la fabrication des semiconducteurs, les motifs du circuit intégré sont transférés sur la puce par lithographie optique à partir d’un masque en verre sur lequel les motifs sont inscrits en chrome. Avec un masque à changement de phase, le transfert s’effectue en deux fois en modifiant la phase de la lumière de 180 °C au deuxième passage : cette technique permet d’atteindre une résolution de la moitié de la taille de la longueur d’onde émise.

Glossary 2.8 uses technologies including PHP and SQL

Composants
Barrette de diode laser pulsée de haute puissance Adaptées pour des conditions d’utilisation critiques grâce à leur dissipation thermique et une [...]
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