Altatech, filiale de Soitec, annonce l’Orion Lightspeed, un système d’inspection de défauts des substrats de LED et de semi-conducteurs.
Ce système utilise une technologie dite Doppler detection, brevetée par Altatech, qui assure une mesure directe des défauts (position et taille) avec une résolution inférieure à 100nm.
L’Orion Lightspeed peut inspecter 85 tranches de 200mm ou 80 tranches de 300mm par heure.
Plusieurs systèmes sont actuellement en test chez des clients. L’Orion devait être disponible à la vente en avril 2015.
