Cette source d’insolation doit servir pour l’équipement de lithographie à UV extrêmes NXE 3300B dont ASML a prévu de livrer un modèle dès le second semestre de cette année. Cet équipement est dédié à la technologie 14 nm.

Cymer, fabricant de sources d’insolation, sera en retard d’environ deux mois pour livrer un modèle de puissance 20 W destiné à équiper le matériel de lithographie à UV extrêmes NXE 3300B d’ASML qui servira pour le nœud technologique 14 nm, selon «Semiconductor Manufacturing & Design».
Cymer devrait ainsi fournir un modèle 20 W seulement à la fin de ce premier trimestre. Et le fabricant néerlandais d’équipements de production ne pourra pas qualifier cette source avant avril ou mai 2012.

ASML a prévu de livrer son premier NXE 3300B au 2è semestre 2012. Jusqu’alors, il utilisait une source d’insolation Cymer de puissance 8 W dans des matériels de test et pré-production – référencés NXE 3100.
En outre, le 20 W ne constitue qu’une première étape pour le matériel NXE 3300B. Par la suite, cette machine aura besoin d’une source d’insolation de puissance 100W : Cymer a déjà prévu de livrer une telle source à ASML au cours de l’été prochain.