Exploitant un résonateur piézoélectrique, les pMEMS viennent en complément des oscillateurs Cmos “CrystalFree” récemment introduits par l’américain. IDT annonce l’échantillonnage auprès de clients qualifiés d’un oscillateur basé sur un résonateur Mems de nature piézoélectrique.
La technologie pMEMS (Piezoelectric Microelectromechanical System) de l’américain combinerait le fort couplage électromécanique du matériau piézoélectrique avec la stabilité et le faible facteur d’amortissement du silicium monocristallin, afin de réaliser une source de fréquence passive alliant excellentes performances et grande fiabilité.
Le but étant ici de remplacer les solutions traditionnelles basées sur des quartz, notamment dans les applications où une forte résistance aux chocs et aux vibrations est exigée. Démarré en 2007, le développement de la technologie pMEMS a fait l’objet d’un dépôt (ou en cours) d’une quarantaine de brevets.

L’un des intérêts des pMEMS réside aussi dans leur faible encombrement. Ils sont en effet présentés dans des boîtiers-puces hermétiques (WLP, Wafer Level Package), dont les dimensions sont approximativement de 0,5 x 0,45 mm seulement.
Selon IDT, les pMEMS sont susceptibles de monter très haut en fréquence, soit de quelques centaines de mégahertz jusqu’au gigahertz. La dérive en fréquence serait à +25°C comparable à celle obtenue avec les oscillateurs à quartz, mais moindre à des températures beaucoup plus élevées.