Les CMEMS Si50x de Silicon Labs associent sur la même puce le résonateur Mems et l’oscillateur Cmos. Avec les Si50x, Silicon Labs lance une famille d’oscillateurs Mems conçus pour remplacer les modèles standard exploitant des quartz.
Les nouveaux venus font appel à une architecture monolithique brevetée, dite CMEMS, permettant d’intégrer le résonateur Mems et l’oscillateur Cmos sur la même puce.
Les Si50x couvrent la gamme 32 kHz à 100 MHz. Leur stabilité de fréquence est de ±20 ppm, ±30 ppm ou ±50 ppm, dans les gammes de température commerciale étendue (-20 °C à +70 °C) et industrielle (-40 °C à +85 °C).

Les différentes versions proposées sont les Si501 (oscillateur simple avec broche d’activation OE), Si502 (deux fréquences possibles), Si503 (quatre fréquences) et Si504 (fréquence programmable via un bus à 1 fil).
Tous ces produits sont actuellement disponibles selon trois formats de boîtiers à quatre broches, dont les dimensions sont de 2 x 2,5 mm, 2,5 x 3,2 mm et 3,2 x 5 mm.
Par quantité de 10 000 pièces, les prix unitaires démarrent à 0,44 $. Un kit d’évaluation (Si501-2-3-4-EVB) est par ailleurs proposé à 99 $.