Le Centre suisse pour l’électronique (CSEM) vient de présenter des travaux laissant augurer d’une amélioration notable des résonateurs Mems dont la faible stabilité en température nécessite une compensation par boucle à verrouillage de phase gourmande en courant. Sa solution consiste à ajouter un film piézoélectrique de nitrure d’aluminium sur le dessus du résonateur silicium et

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