A100V d’Alcatel Vacuum Technology
Cette pompe de nouvelle génération, dont la taille a été réduite de 35 % par rapport à l’A100L, répond aux besoins des équipements de production de semiconducteurs sur tranches de silicium de 300 mm.
Haute performance dans un format compact
Faible bruit, vibrations réduites
Conforme Semi S2-703
Rens. : www.adixen.com
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