L’institut belge de recherches en microélectronique, Imec, vient de créer un consortium mondial dédié à la lithographie 193 nm en immersion et rassemblant les principaux acteurs du secteur. Ce consortium réunit plus de 30 sociétés, fabricants de circuits intégrés (Infineon, Intel, Matsushita, Nec, Philips, Samsung, Sony, ST et Texas Instruments), fournisseurs d’équipements et matériaux pour semiconducteurs

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