Selon le Grenoblois PHS Mems, les modules fonctions passives réalisés en technologie microsystème (Mems) ont su séduire les concepteurs de systèmes radiofréquences. L’argument choc de cette technologie serait le rapport performance de la fonction sur la surface occupée qui dépasserait celui des circuits hybrides céramiques cocuits basse température et des technologies d’intégration sur silicium ou

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