Inspection des masques:KLA-Tencor dévoile deux équipements

Le 19/09/2016 à 0:00 par Didier Girault

Le Teron 640 a été conçu pour être utilisé par les fabricants de masques. Le Teron SL655 cible, lui, les fabricants de circuits intégrés.

P lus les semi-conducteurs se miniaturisent, plus la fabrication des masques servant à leur production est complexe. En effet, la miniaturisation met en évidence des défauts (contamination…) qui, jusqu’alors, n’influaient pas.

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