Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique

Le 02/11/2006 à 0:00 par La rédaction

Selon ce traité réalisé sous la direction de Mireille Mouis, la maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l’optoélectronique. Un souci qui se pose tant au niveau des composants actifs, comme les transistors ou les lasers, que des interconnexions. Des contraintes indésirables, voire destructives, peuvent être induites par

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