Des Dram enfouies en Cmos 90 nm

Le 19/05/2005 à 0:00 par Françoise Grosvalet

Nec Electronics vient d’introduire une technologie MIM (métal isolant métal) pour l’intégration de mémoires Dram en Cmos 90 nm. Cette technologie, appelée MIM2, met en œuvre un diélectrique fort k en oxyde de zirconium (ZrO2). Une bibliothèque de cellules Dram enfouies compatibles avec la famille de circuits précaractérisés 90 nm du Japonais sera disponible en

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