La structure Mems de SiTime fournit un résonateur en silicium aux performances en certains points comparables à celles d’un quartz mais théoriquement plus économique et, surtout, intégrable.
Les structures microsystèmes en radiofréquences sont jusqu’à présent encore relativement rares, les promesses qu’apportent ces structures micromécaniques ayant pour l’instant abouti en matière de composants commercialisés essentiellement à
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