Nikon a mis au point un laser tout-solide capable de délivrer une longueur d’onde de 193 nm avec une puissance optique de 500 mW. Cette source lumineuse cohérente n’utilise en effet aucun gaz mais une diode laser à 1 547 nm fonctionnant en régime impulsionnel couplée à cinq étages de conversion et/ou de mélange de fréquences réalisés à l’aide

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