Silicon-On-Insulator Technology Materials to VLSI

Le 01/04/2004 à 0:00 par La rédaction

Cet ouvrage retrace l’évolution des matériaux silicium sur isolant sur une période d’une vingtaine d’années. Pendant ces deux dernières décennies, des techniques de fabrication et des composants ont été imaginés puis parfois abandonnés, mais ces technologies ont fini par s’imposer en termes de performance sur les procédés classiques. Les tranches de silicium sur isolant sont

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