F.O.X. de Feinfocus
Ce système permet maintenant de tester des cartes de 610 × 610 mm.
Commande sur 6 axes (X,Y,Z et angle de vue oblique avec inclinaison ± 45°)
Reconnaissance de caractéristique de 300 nm en XY
Vitesse de 10 µm/s à 80 mm/s
Amplification géométrique jusqu’à 2 400x (amplification totale jusqu’à 7 200x)
Référence : F.O.X.
Fabricant : Feinfocus
Rens. : www.feinfocus.com
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