La technologie Alde mise au point par Nanoplas est un procédé de gravure plasma révolutionnaire à très grande sélectivité. Il permet de résoudre le problème de gravure et d’élimination des spacers des transistors en 20nm et en deçà.
N anoplas, spécialiste français des équipements dédiés aux nouvelles générations de circuits intégrés (technologies 20, 14, 10
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